Harmonic執行器在半導體CMP設備中的應用

SHA、FHA、RSF系列執行器是日本Harmonic公司的一款諧波減速機和伺服電機一體化的產(chǎn)品。HMA是大中空直驅力矩電機產(chǎn)品。
SHA系列執行器有6種尺寸可選，最大輸出轉矩為3419Nm,減速比范圍11~161，單向定位精度≤30arcsec（1:80以上速比）。
FHA-C系列執行器4種尺寸可選，最大輸出轉矩達820Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤30arcsec。
RSF系列執行器4種尺寸可選，最大輸出轉矩達330Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤90arcsec。
HMA系列直驅電機5種尺寸可選，最大輸出轉矩33Nm，最高轉速6000rpm，中空直徑最大60mm，標配絕對值編碼器單圈17位多圈計數16位。
北方某客戶(hù)在CMP設備使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列產(chǎn)品：
1、 轉臺：負載220kg，直徑1600mm，交流伺服電機+行星減速機無(wú)法滿(mǎn)足安裝空間和精度要求，選用了SHA65A產(chǎn)品，減速比為1:161，輸出轉矩為3419Nm，滿(mǎn)足了晶片轉臺大慣量匹配及快速定位需求，中空結構可放置氣管和線(xiàn)纜，扁平機身降低安裝空間和設備重心；
2、 磨頭：選用了RSF-32A產(chǎn)品，集成高分辨率編碼器和1:50減速機，使輸出端轉速波動(dòng)小，運行平穩，提高了研磨精度；
3、 清洗甩干：選用了HMAB12產(chǎn)品，最高輸出轉速4800rpm，中空法蘭輸出結構便于晶片吸取，大扭矩高慣量使甩干速度運行平穩。
4、 FHA-40C產(chǎn)品應用于清洗的提拉翻轉機構，減速比為1：100，輸出轉矩為690Nm，小體積高功率密度降低安裝空間需求。
驅動(dòng)器選用了Copley公司的XEL-230-18，通過(guò)EtherCAT總線(xiàn)接入倍?？刂破?。
Harmonic執行器產(chǎn)品的應用，很好的滿(mǎn)足了客戶(hù)對于提高控制精度，高速定位，緊湊安裝空間的需求。