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雷尼紹光柵&激光干涉儀-VIONiC系列雷尼紹的超高精度、一體化數字增量式光柵,適用于線(xiàn)性和旋轉應用。電子細分和數字信號處理功能組合封裝在讀數頭內,其電子細分誤差低至<±10nm,分辨率低至2.5nm。讀數頭系列具有兩種型號,分別為VIONiC和VIONiCplus,二者均可提供多種配置,可優(yōu)化運動(dòng)控制系統的速度和性能。
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